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水环真空泵案例

汽车半导体2BE水环真空泵系统解决方案

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产品描述:

深圳务明系统水环真空泵系统可解决半导体行业的工艺特性,水环真空系统无油、设备稳定性可靠性较高,康斯顿(CNST)真空泵系统的应用,整体提升了电气功率半导体工艺平台及生产制造能力。

新能源汽车半导体行业的真空工艺应用有哪些?

1、半导体行业中的蒸发、溅射、PECVD、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、机械手搬运吸附、自动化真空清扫等键合工序里均会用到真空。半导体行业对应的不同的真空要求如中高真空、清扫真空(粗真空)、工艺真空(粗真空)。部分还有要求真空泵向被抽空间内的返流为零,以保护工件免受污染。

2、工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持,清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送,此类应用中水环真空泵和多级离心风机是非常关键的生产辅助设备。


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半导体真空系统应用要求及案例:

1.应用要求——半导体行业的工艺特性,要求系统绝对无油,对设备的稳定性和可靠性要求也比较高。

2.应用案例——湖南某电气公司拥有一流的功率半导体生产线,形成从设计、制造、封装与测试等全套能力,电气汽车组件配套建设项目,选用了2套康斯顿2BE水环真空系统,(水环真空泵安全可靠,100%无油,完全满足半导体行业的工艺真空要求),目前设备安装调试完毕,机组运行稳定。
该项目全部产能将用于新能源汽车用基材及组件生产,康斯顿(CNST)真空泵系统的应用,整体提升了电气功率半导体工艺平台及生产制造能力,真空泵系统/真空泵工艺可满足新能源汽车领域巨大市场需求,进一步做大做强做优功率半导体产业。


水环真空泵系统,水环真空机组



随着高铁技术自主化进程,尤其芯片和半导体的国产化,深圳市务明系统集成有限公司专注于真空泵系统方案、真空系统配套设备等服务,为客户提供创新的真空泵产品和售后维保等一站式服务。


深圳市务明系统集成有限公司专注于真空泵领域,是深圳真空泵生产厂家之一,务明拥有技术团队研发生产真空泵产品,所研发的真空泵(水环真空泵、罗茨真空泵旋片真空泵螺杆真空泵)、真空系统、真空机组等产品广泛应用于食品、制药、医疗、化工、家居、电子电池、水环境等行业,并为客户量身定制行业应用解决方案,务明系统集成公司是深圳集成监控系统公司行业的之一。



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