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干式螺杆真空泵半导体应用优势

2021螺杆真空泵火了,据了解半导体行业应用较为广泛,而干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵,跟随深圳市务明系统集成有限公司、深圳真空泵生产厂家来看看,干式真空泵应用于半导体行业的优势。

干式真空泵、干式螺杆真空泵应用于半导体优势如下:

1.消除了工艺过程中油污染或油搭载进入尾气处理系统的风险
2.不会产生废物、或者污染宝贵的溶剂、产品或环境
3.完全干燥,对上下游工艺没有任何污染
4.干式螺杆真空泵无任何腐蚀风险
5.吸入的溶剂或其他有用成分可以在泵的出口直接回收
6.干式真空泵工作效率更高、耗电更少


干式螺杆真空泵,干式真空泵


综合上述,干式螺杆真空泵特点明显,半导体生产过程中所需具备抽除腐蚀性气体、粉尘颗粒、有毒气体等,干式螺杆真空泵均可解决,因此被广泛应用于半导体行业。


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