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真空系统选用哪种真空泵?

真空系统用何种真空泵,首先应根据系统的要求,其次应对该泵性能特点有详细了解,比较了各种泵的优缺点后,再决定之, 这样才能选用得适当。为便于选择所要使用的真空泵,现将我国生产的各种类型真空泵总的情况归纳总结一下,简略比较它们的特性和优缺点,看来是必要的。 一、油封机械泵 现生产的2X型旋片泵均为双级,抽速为0.5~150升/秒,有全系列的产品。 滑阀泵分单级(H型)、双级(2H型)。 抽速:H型为8 ~ 600升/秒;2H型为8~ 70升/秒。亦有成系列生产的产品。 余摆线式泵抽速可很大,体积小,目前正在试生产。 这类泵均用作获得低真空,或作高真空泵前级泵和预抽泵。带有气镇装置的可抽除潮湿空i。但极限真空比抽干燥空气(不用镇时)低-个数量级。泵的抽速系指进口压强在760托时之抽速,当系统压强下降时抽速亦下降,直至接近该泵的极限真空,抽速亦接近于零。其抽降系数有一定规定。 二、机械增压泵(罗茨泵) 工作压强范围10~5x10-4托,常用范围2~5x10-3托,抽速范围150~ 2000升/秒,我国已有成系列产品。这种泵最大抽速在2托~10-2托之间,需要前级泵,不能直接向大气排气。极限真空随前级泵变化。与油增压泵相比,工作压强范围较宽,最大排气压强较高(机械增压泵10~30托,油增压泵1 ~ 2托) ,返流油蒸气很少,用它抽除含有水蒸等可凝性气体时较合适。 三、油增压泵 工作压强范围1 ~1x10-4托,常用范围在0.1~ 1x10-2托,抽速范围200~40000升/秒,弥补了机械泵、扩散泵在此压强范围内抽速小的缺陷。对惰性气体与其他气体有相同的抽速。 四、油扩散泵 普通油扩散泵的工作压强范围10-2~5x10-7托,常用范围10-8~ 5x10-6托,抽速范围20~ 100000升/秒,金属,玻璃结构的扩散泵均成系列生产。超高真空油扩散泵极限压强约为10-10托,除结构与普通油扩散泵略有一点差异外 ,主要是工作液不同,结构材料不同,即用275硅油等作泵液,结构材料用不锈钢。新设计的超高真空泵差异就较大了。

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