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液环真空泵结构及工作原理

液环真空泵结构及工作原理

液环真空泵是一种使用液体作为工作介质的粗泵。水环真空泵用作工作介质,也可以使用其他工作油,如油,硫酸和乙酸。主要使用工业水环真空泵。

液环真空泵有单级,双级,单作用和双作用应用。单级和两级真空泵是指叶轮的级数;单/双动作是指叶轮/壳体的形式,单作用叶轮真空泵叶轮旋转一次,气体经过一次抽吸/排出;双作用真空泵使其叶轮旋转一周。吸入和排出两种气体。

使用真空泵时,需要注意以下事项:

1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空涂层需要1×10-5mmHg的真空,并且所选真空泵的真空度至少为5×10-6mmHg。泵的真空通常选择为比真空设备的真空高一半数量级。

2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的泵送速度随压力变化,其稳定的工作压力范围为5×10。 -4〜5×10-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,不应在10-8mmHg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压力应小于1×10-5mmHg。

3.在工作压力下,真空泵应能清除真空设备过程中产生的所有气体。

4.正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送,有时泵不能满足泵送要求,并且需要将多个泵组合以彼此互补以满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢气具有高抽速,但不能泵送,并且三极溅射离子泵对氩气具有一定的抽速。组合时,真空装置将具有更好的真空。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;一些真空泵出口压力低于大气压力,需要前级泵,因此需要将泵组合在一起。

5.真空设备对油污的要求。如果设备严格要求无油,则应选择各种无油泵,如:水环泵,分子筛吸附泵,溅射离子泵,低温泵等。如果要求不严格,你可以选择有一个油泵,加上一些油污措施,如加入冷阱,挡板,油阱等,也可以达到清洁真空要求。

6.了解要泵送的气体的成分。该气体不含可凝结的蒸气,没有颗粒粉尘,也没有腐蚀性。选择真空泵时,您需要知道气体成分并选择合适的泵送气体泵。如果气体中含有蒸汽,微粒和腐蚀性气体,请考虑在泵的入口管道上安装冷凝器,集尘器等辅助设备。

7.从真空泵排出的油蒸汽如何影响环境?如果环境不允许污染,您可以选择无油真空泵或将油蒸汽排放到外面。

8.真空泵工作时产生的振动对过程和环境没有影响。如果过程不允许,请选择无振动泵或采取防振措施。

9.真空泵的价格,运行和维护费用

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