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真空泵机组的应用

真空泵机组已广泛应用于许多领域:

1.半导体工业:薄膜制造设备,半导体器件封装设备; 

2.科学仪器行业:同步辐射束线机,电子显微镜,真空泵单元极光测试设备,分析测试设备; 

3.机械设备行业:材料制备设备,真空检测设备,真空过滤设备,物料净化设备,超高真空排气设备; 

4.医疗器械行业:牙科设备,透析机;

5.生物制品业:材料净化和药物制备;

6.包装行业:食品,医药,生物制品等包装设备; 

7.真空冶金行业:真空炉,纳米材料制备设备,真空检测设备等领域。

真空泵是获得无油真空系统作为分子泵和小型低温泵的前级泵的最佳配置。其主要运动部件只有一个动涡旋,因此动力传递简单,在相同尺寸下运动半径小,零件小,结构简单紧凑,整机尺寸小,介于两者之间移动和静止涡旋,移动板和泵腔室之间的间隙很小,泵中的运动部件与泵腔没有摩擦,因此几乎没有磨损,运行稳定,功耗低,气流小损耗小,工作可靠性高,使用寿命长,易于维护,维护成本低,容积效率高。高。风冷,无需水冷。

真空泵在很宽的压力范围内具有高压缩比和稳定的抽速。由于压缩室的容积变化是连续的,因此驱动转矩变化小,功率变化小,振动噪声低。不提供干式真空泵的类型。为了达到涡旋泵有效运行的目的,滚动管必须在每个真空室中牢固地啮合,以避免由于真空室之间的大的压力差,热变形和部件而导致的涡旋壁力的恶化。排气室。高压气体保留和降低真空泵效率。因此,必须确保涡旋轮廓之间的精确容纳和啮合,以控制工作介质的泄漏,并实现泵送的目的。这是真空泵结构设计的重要基础。在泵送气流路径中,不需要使用任何油和密封液体作为介质,并且可移动和静止涡旋件相对旋转以形成吸入腔室和压缩腔室以被泵送气体排出,并且吸入,压缩和排气过程不断完成。 因此,如何防止泄漏解决密封问题尤为重要。真空泵的密封件主要包括轴向啮合间隙的径向密封和径向啮合间隙的切向密封,即齿侧密封。

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