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干式螺杆真空泵特点以及优势

1,排气路径短,减少反应物沉积

  干式螺旋真空泵相较于其他形式的真空泵,因气体于泵浦内的传输路径最短,最不易产生反应物沉积的现象。

  2,线形密封性佳,泵性能更优

  转子密封线形,转子密封性佳,转子能以较大的啮合间隙达到更快的抽气效果。由于喷合间隙较大,泵较不易因制程气体沉积而卡死,转子也较不易因磨耗而需更换。

  3,结构简单,故障率低,维修容易

  螺杆真空泵因需利用一对转子互相喷合达到密封效果,结构上不像其他形式的真空泵需要有中间隔板的设计,降低转子与隔板沉积卡死的风险。且因其结构单纯,拆解维修也较容易,因此能缩短维修时程,降低维修费用。

  4,微电脑操作,远端监控,保护周全

  微电脑操控器提供真空泵最简单的操作方式并能显示泵浦完整的运转状态,方便使用者对泵浦应用状况进行调整,在泵浦产生问题前进行预防保养。远端监控系统能提供使用者方便的监控工具,使用者不需到现场即能查询泵浦之运转状况。

  4,性能优势

  (1)专用冷却液冷却,避免了冷却水可能对壳体造成腐蚀。

  (2)移动式操作界面,方便操作;显示真空泵实际工作状况,并可选中英两种文字显示,切实贴近客户。

  (3)军规电源接头,安全方便。

  (4)氮气加热器,使真空泵更适应于CVD、PECVD等半导体制程。

  (5)控制讯号及通讯信号接口,可对真空泵进行远端监控。

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