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真空室选择真空系统考虑那些条件

  真空系统的核心是真空室,它是为特定应用量身定制的。它包括应用程序,并可靠地将其与外部隔离,或防止环境受到内部过程的影响。无论干燥过程是否需要高真空环境,等离子过程都需要在中真空或高真空环境中进行,并且表面研究也需要在高真空环境中进行:真空室必须始终机械承受来自大气的压力差。

  真空室是广泛应用于现代制造工业和科学研究的基本装置之一,例如电子工业、信息产业的大规模印刷线路、集成电路和大面积超导薄膜的制备等,真空沉积过程中通常对真空度都有较高的要求。真空沉积时真空室的漏气、真空室壁面的放气和被蒸发材料本身的放气都可能导致真空室内真空度的快速变差,因此需要采用相应的措施快速改善真空室内的真空度。目前,在保证真空室良好密封性的前提下,采用具有大抽速的钛升华泵可以使真空室快速达到超高真空度。由于钛在升化和沉积的过程中,与活性气体结合成稳定的化合物——固相的TiO或TiN,从而能够快速将真空室内的气体分子抽除。

  针对现有技术的不足,本发明的目的就是提供一种费用相对低廉的快速提高真空室专用真空系统真空度的方法。

  为实现上述目的,提供一种快速提高真空室真空度的方法,在真空室内,使活性高且稳定性好的金属蒸发形成蒸气粒子,并将该蒸气粒子沉积于金属板表面形成金属膜,金属粒子及其形成的新鲜金属膜可以快速吸附真空室内的气体分子,并进一步生成稳定的固态物质。在真空室内,采用蒸发方式,使少量活性高且稳定性好的金属材料蒸发为蒸气粒子,蒸气粒子迅速与真空室内的水蒸气、氧气、氢气等气体发生反应,生成稳定的固态物质,从而达到快速提高真空室的真空度的目的。采用本方法提高真空室专用真空系统的真空度,不仅费用低廉而且迅速高效。

  通过引入真空系统专用真空系统,为了达到最佳配置,在选择真空系统时,应考虑以下几点:

  1.确定工作真空范围

  首先必须检查确定每个过程所需的真空度。由于每个过程都有自己的真空度范围,因此必须仔细研究。

  2.确定极限真空

  真空泵系统的极限真空度是在确定过程所需的真空度的基础上进行检查的,因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。通常,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级的极限真空度低50%。

  3.真空度

  检查达到所需真空度所需的时间,真空管道的流阻和泄漏。考虑在达到所需真空度后在某些过程要求下保持真空度所需的抽气速率。

  4.抽气类型和抽气量

  检查泵送的类型和所需的泵送量,以确定过程。因为如果所泵送的气体类型与真空泵中的液体反应,则真空系统将被污染。同时,必须考虑确定适当的排气时间和在泵送过程中产生的气体量。

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