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罗茨真空泵与前级真空泵抽速之间的关系

  罗茨真空泵的抽速与前级真空泵的抽速之间的关系主要取决于体积效率和罗茨真空泵的压差。如果容积效率低,则罗茨真空泵装置的有效抽速会大幅下降。如果罗茨真空泵的压差超过最大允许压差,则压缩功将导致转子过热并被卡住。因为泵壳很容易到周围的环散热仍然不太热。

  罗茨真空泵的最大允许压差在40-100hPa之间。在较高的压力范围(150hPa)中,允许的压差会稍高一些,这是因为抽气量值得感谢,并且改进了转子。冷却。随着压差的增加,不可避免地会增加所需的功率。

  罗茨真空泵的出口管中安装了专用的气体冷却器,由于冷却气体的回流可以将转子的温度保持在指定范围内,因此可以增加最大允许压差。

  内。在真空和高真空范围内,抽速比多使用10:1。当入口压力变化较大或前级压力变小时,压缩比降低,因此抽速比多选择。

  1.当罗茨真空泵在较高压力下启动时,压力迅速下降并达到所需压力。尽管启动时超过了最大允许压力差,但短时过载(几分钟后)正常的罗茨真空泵电动机不会引起问题。当入口压力非常低或预真空泵气镇阀工作时,通常使用两级预真空泵,否则很难达到罗茨真空泵所需的预压力,并且在此压力下进行前期泵的抽速太低。这将导致压缩比过高并降低容积效率。

  2.当泵的入口压力在真空度范围内时,这是允许的最大压差成为重要因素。当入口压力为15hPa时,罗茨真空泵与前级真空泵的泵速比为6:1,而当入口压力为75hPa时为2:1。在罗茨真空泵粗真空范围和前级真空泵的抽速比中,对于每种情况,通常需要分别确定相对较小的值。体积效率相当好。

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