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平板显示器中螺杆真空泵的使用

  随着在屏幕阅读的幻想未来,显示面板行业的高速发展。面板的制造过程非常复杂。从玻璃基板到成品至少需要300道工序。整个过程需要在无尘的环境和精确的技术过程中进行。因此,在面板生产过程中,高度可靠的真空供应尤为重要。平板显示器厂家现在使用干螺杆真空泵技术为其高负荷L/L,CVD,PVD,刻蚀,溶剂蒸发工艺提供真空。本文旨在介绍下螺杆真空泵在平板显示器中的应用。

  平板显示器(FPD)的制造过程需要真空和减排设备,这些设备可以支撑大型处理室并以最大的可靠性提供高气体流量。需要真空设备来泵送有毒,自燃性和腐蚀性气体,并处理在处理室中形成的大量固体处理副产物。

  为什么选择平板显示器的螺杆真空泵?

  选择干式螺杆真空泵的原因实际上与其产品特性有关。它具有以下三个优点:

  1、高可靠性

  干式螺杆真空泵由于其成熟的双螺杆设计和智能的温度管理而特别高效。这些真空泵即使在最严苛的应用中也能提供高可靠性和长使用寿命。

  2、配备节能模式功能,可以节省大量能源

  干式螺杆真空泵配备有节能电机和世界先进的节能模式功能。控制系统可根据需求自动调整为节能模式,并在需要时恢复至最大抽气模式,从而节省了大量能源。

  3、最小化维护和运营成本

  它的一小部分部件(包括转子)都是一件式的。得益于其模块化设计以及独立的罗茨泵螺杆泵机架,它易于安装和维护,大大降低了大修成本。由于优化的空间设计和节能潜力,真空泵的运行成本较低。

  由多个干式螺杆真空泵与罗茨泵组成的真空系统是平板显示器应用的最佳解决方案,例如快速排空以进入腔室,排空过渡腔室和薄膜沉积腔室。在相同类型的泵中,它们提供最快的泵送时间和最快的泵送速度。通过标准化设计,真空使系统提供了极大的用户友好性。用户还可以受益于标准化的接口,例如电气连接,吹扫气体和冷却水,方便的设备维护以及优化的泵管理。

  以上是螺杆真空泵在平板显示器中的应用,如果您想了解更多,可以联系我们公司。根据CVD,PVD,刻蚀,PR涂层,盒成型,OLED蒸发,包装,离子注入等不同的工艺要求,我们可以为客户定制专业的真空解决方案。

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