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螺杆真空泵近年来的发展状况

  概述螺杆真空泵设备是一种大批量产品,它是真空工程必不可少的基本组件。近年来,随着真空技术应用的不断扩大,各种螺杆真空泵设备的增长也非常迅速。为了满足真空应用发展的需要,特别是老产品不断更新,新产品不断出现,真空设备的开发进入了一个新时代。其特点是:减少泵的振动和噪音,提高长期运行的可靠性,处理大量的可凝性和挥发性气体,减少能耗和运行成本,消除废液处理和环境污染;需要耐腐蚀,耐灰尘和清洁,无油的真空环境。

  根据上述要求,获得真空,以使设备制造商不断改进旧产品的特性。例如,滑阀泵具有抽速大,性能稳定和耐用的特点,但是其运动部件的惯性力和惯性矩引起的振动一直引起人们的关注。 罗茨泵在清洁或腐蚀过程中的应用在半导体,平板显示器,薄膜太阳能电池和其他工作条件非常恶劣的行业中,大多数设备都使用由罗茨真空泵干式螺杆真空泵组成的真空装置。一方面,可以减小干式螺杆真空泵的尺寸,可以提高中真空范围内装置的抽速,并且可以将极限真空度提高一个数量级。

  根据罗茨泵的泵送机构,原则上应无油,但是罗茨泵的转子必须由轴承和精密同步齿轮支撑,这需要润滑系统。当真空系统去除腐蚀性气体或蒸气时,润滑油也可能被腐蚀。

  该密封件具有五点机械密封件,也就是说,除了电动真空机输入处的机械密封件外,其他四个机械密封件也用作泵室和燃油箱之间的密封件。完全机械密封的罗茨真空泵特别适合工艺气体具有高腐蚀性的应用。为了防止腐蚀,必须对罗茨泵暴露于工艺气体的表面进行涂层(Ni0.076mm + Cr0.005mm),并且所有密封材料均为全氟橡胶。

  此外,真空泵制造商会继续根据需要开发新产品,而干式螺杆真空泵已成为真空设备行业中最热门的地方。螺杆真空泵是1990年代出现的理想的干式螺杆真空泵。结构紧凑,抽速高,真空度高,空气直通,工作部件无摩擦,使用寿命长。由于泵室内没有油和水,因此没有油蒸气排放和废液处理的问题,因此它是本世纪环境保护的首选。

  螺杆真空泵的工作原理是一对同步齿轮带动一对反向旋转的螺杆保持一定的间隙,实现非接触式啮合。为了减少泄漏,要求螺钉的加工精度较高。该泵可以处理一定量的含有微小颗粒的液体和工艺气体,非常适合半导体,太阳能膜,化学,制药和其他应用。

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