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掌握这8点助你选择真空泵

  1、真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空镀膜要求的真空度为1 × 10-5mmHg,所选真空泵的真空度必须至少为5 × 10-6mmHg。通常将泵的真空选择为比真空设备的真空高一半数量级。

  2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,例如:扩散泵为10-3〜10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的抽速随压力而变化,其稳定的工作压力范围为5 × 10-4〜5 × 10-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,并且不应在10-8mmHg的环境下长时间工作。另一个例子是钛热升华泵可以在10-2mmHg的压力下工作,但其工作压力应小于10-20mm 10-5mmHg。

  3、真空泵应该能够在真空设备的工作压力下清除真空设备过程中产生的所有气体。

  4、正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能,因此有时一个泵无法满足泵送要求,因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢的抽吸速度很高,但是不能被抽吸,而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时,真空装置将具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压,因此需要前级泵,因此必须将这些泵组合在一起。

  5、真空设备油污的要求。如果严格要求设备无油,则应选择各种无油泵,例如:水环泵,分子筛吸附泵,溅射离子泵,低温泵等。如果要求不严格,您可以选择拥有一个油泵,再加上一些油污染措施,例如添加冷阱,挡板,油阱等,也可以达到清洁真空的要求。

  6、了解要泵送的气体的成分。该气体不包含可冷凝的蒸气,粉尘和腐蚀性。选择真空泵时,您需要了解气体成分并为泵送的气体选择合适的泵。如果气体中包含蒸气,颗粒和腐蚀性气体,请考虑在泵的入口管道上安装辅助设备,例如冷凝器,集尘器等。

  7、真空泵中的油蒸气如何影响环境?如果环境不允许污染,则可以选择无油真空泵或将油蒸气排放到外部。

  8、真空泵运行期间产生的振动对过程和环境没有影响。如果过程不允许,请选择无振动的泵或采取防振措施。

  9、真空泵的价格,运行和维护成本。

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