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半导体真空泵应用注意哪些问题

  半导体真空泵应用注意哪些问题?深圳务明系统集成公司分析,半导体工艺真空主要用于蒸发、溅射、PECVD、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等键合工艺。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体,对生产和人员安全构成威胁。因此,半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:


  1.定期清洁真空泵及其他附件、过滤器和管道,以避免过压

  在半导体真空泵的应用中,当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时,介质的组成可能极其复杂。例如,SiH4和O2在泵口形成二氧化硅,而四氯化钛水解形成氯化氢。假设使用油封机械泵,这些气态物质也可能与泵油发生反应。这些变化假设颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质的形成,可能会堵塞真空泵或管道系统,影响真空泵的性能,导致压力升高或过压,并带来更大的风险。因此,有必要及时清理,必要时设置过滤设备。

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  2.有效稀释有害气体的浓度

  半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒有害气体。因此,在半导体真空泵的应用中,当抽取这些介质时,有必要防止真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如,当与空气或氧气接触时,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢气的混合比例达到一定程度和温度时,也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此,当半导体真空泵提取这些介质时,在压缩前的当前条件下,需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到安全范围。

  3.注意氧气的浓度

  如果空气中的氧气浓度过高,燃烧和爆炸风险也会发生。因此,在某些情况下,应注意氧气的浓度,并应使用惰性气体稀释它,以防止浓度过高。假设油封机械泵可能需要使用一些惰性氧兼容真空泵油,并及时更换滤油器和油品。


  4.防止温度过高

  这一点更容易理解。在半导体在真空泵中的应用中,有许多有害气体。然而,无论是干式真空泵还是油封机械泵,如果泵腔内的温度过高,易燃、易爆和有毒气体在高温下很容易造成危险。

  当我们使用真空泵时,需要注意导体使用中的安全注意事项,并做好以后的使用工作。


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