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真空泵的主要参数选型原则

  真空泵的主要参数有:

  (1)抽气速率.当泵装有标准实验罩并按规定条件工作时,从实验罩流过的气体流量与在实验验罩上指定位置侧得的平衡压力之比,简称抽速,单位为m3/a或L/s.

  (2)抽气量.流经泵入口的气体流里.单位为Pa.m3/s或Pa.L/s.

  (3)极限压力。泵装有标准实验罩并按规定条件工作时,在不引入气体正常工作的水环真空泵情况下,趋向稳定的最低压力,单位为Pa.

  (4)启动压力。泵无损坏启动并有抽气作用时的压力,Pa.

  (5)前级压力。排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力.单位为Pa.

  (6)最大前级压力.超过此值泵将不能正常工作的压力称最大前级压力,单位为Pa.

  (7)最大工作压力。对应最大抽气且的入口压力.此压力下泵能连续工作而旋片真空泵不恶化或损坏.

  工艺要求达到的真空度

  真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(绝对压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求绝对压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果绝对压强要求低于3300Pa罗茨真空泵,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。

  工艺要求的抽气量(抽气速率)

  真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。


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